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1、真空泵配件的泵和電機的裝置：在進行真空泵配件的泵和電機裝置的時分，真空泵和壓縮機在裝置前，先用手轉動一下聯軸器，以證實泵內是否有卡信及其它損壞現象。
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真空爐一般由爐膛、電熱設備、真空系統、密封爐殼、供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或許不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封資料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。
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1、由于煙氣中帶有適當數量的二氧化硫，遇水分就會變成三氧化硫(俗稱的稀硫酸)，對換熱管的表面形成腐蝕。真空回火爐的原理相同如此，需求相同的保養。
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工作真空度測量：不低于2.7Pa(在1000空爐時)。
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1、空氣預熱器發生低溫侵蝕，受熱面外表變得潮濕粗糙，使積灰堵灰加重。
2、省煤器漏水，又未趕緊停爐處理，使預熱器外表構成一層水膜，飛灰與水膜構成泥糊狀。將管子擁塞。
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真空淬火爐達不到真空度:或許是真空機組的抽氣才能不夠，也或許是漏率偏高，或兩者都有。
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我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數真空熱處理爐的作業真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。
