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真空爐石墨件的外表處理對于進步其功能、延長使用壽命以及防止氧化腐蝕等至關重要。

關于氧化層較淺的真空爐石墨件，首先可以運用機械處理的辦法去除外表氧化物。

真空爐石墨件氧化后的處理辦法可以依據氧化程度和表面質量要求來挑選。

在加工過程中，石墨件需求經歷磨削、拋光等精加工過程，以保證其外表到達所需的潤滑度和平坦度。 外表潤滑、平坦的真空爐石墨件有助于進步導熱功能和耐腐蝕功能。

石墨在高溫環境下會與空氣中的氧氣產生反響，導致氧化。特別是當溫度超過必定閾值（如800℃以上）時，氧化反響會急劇加快。

真空爐石墨件的氧化速度并不會跟著時刻的推移而減慢。實際上，假如沒有采納恰當的辦法，真空爐石墨件的氧化速度或許會跟著時刻的推移而加快。

定時檢查和保護真空爐的密封結構，如替換密封墊、整理密封槽等，以削減外部空氣滲入爐內的可能性。