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真空爐可以實現真空淬火和回火、真空退火、真空固溶和時效處理、真空燒結、真空化學熱處理以及真空鍍膜等工藝，因此真空爐可實現其他熱處理設備無法處理的復雜工藝。

真空爐的分類有真空釬焊爐、真空氣淬爐、真空燒結爐、真空退火爐、真空回火爐、真空油淬爐、真空滲碳爐等類型。