真空爐石墨配件有哪些
石墨真空爐配件種類豐盛，依據(jù)功用可分為加熱元件、結(jié)構(gòu)支撐件、導(dǎo)電聯(lián)接件、隔熱組件及功用配件五大類。以下按類別具體闡明其功用與運用場景：
一、加熱元件
1.石墨加熱棒/管
功用：中心發(fā)熱部件，運用電阻效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為熱能，作業(yè)溫度可達(dá)3000℃（真空或慵懶氣氛下）。
特征：升溫快、熱慣性小，外表功率密度需控制以防部分過熱。
2.石墨加熱室
功用：包容被加熱物料，供給均勻高溫環(huán)境。
運用：單晶硅生長、陶瓷燒結(jié)、金屬熱處理等精密工藝。
二、結(jié)構(gòu)支撐件
1.石墨支架/料盤
功用：承托工件，確保高溫下安穩(wěn)支撐。
特性：低熱脹大系數(shù)（約4.75×10??/°C），防止熱變形導(dǎo)致工件偏移。
2.石墨導(dǎo)軌/軸承
功用：引導(dǎo)物料移動，削減沖突損耗。
優(yōu)勢：自潤滑性，無需額外潤滑油，耐腐蝕且習(xí)慣高速作業(yè)。
3.石墨螺絲/螺栓/螺母
功用：高溫緊固件，代替金屬螺絲在極點溫度下聯(lián)接部件。
特征：耐2000℃以上高溫，化學(xué)慵懶強(qiáng)，防止污染工藝環(huán)境。
三、導(dǎo)電聯(lián)接件
1.石墨導(dǎo)電桿/接頭
功用：傳輸電流至加熱元件，確保電路安穩(wěn)。
要求：低電阻率（8-13×10?? Ω·m），高純度（固定碳≥99.99%）以削減能量損耗。
2.石墨聯(lián)接板
功用：整合多組電路，優(yōu)化電流分配。
運用：大型真空爐的并聯(lián)電路設(shè)計，防止電阻差異導(dǎo)致過載。
四、隔熱組件
1.石墨硬氈/軟氈
功用：包裹爐腔，削減熱量散失。
特性：
導(dǎo)熱系數(shù)低（0.04~0.1 W/m·K），節(jié)能效果顯著；
抗熱震性強(qiáng)，急冷急熱不分裂。
2.石墨隔熱屏
功用：分層阻隔熱輻射，提升溫場均勻性。
運用：半導(dǎo)體單晶爐、航空航天資料熱處理。
五、功用配件
1.石墨風(fēng)扇葉片
功用：強(qiáng)制爐內(nèi)氣流循環(huán)，均衡溫度散布。
優(yōu)勢：高溫強(qiáng)度隨溫度升高而增加（2000℃時強(qiáng)度為室溫2倍）。
2.石墨坩堝/燒結(jié)石墨箱
功用：盛放熔融金屬或化學(xué)試劑。
特性：耐酸堿性、抗金屬浸潤，用于有色金屬練習(xí)或CVD工藝。
3.石墨密封圈/墊片
功用：確保真空密封性，防止氣體走漏。
適用場景：反應(yīng)釜、泵閥系統(tǒng)。
六、運用與選型注意事項
1.防氧化處理：
非真空環(huán)境需慵懶氣體（N?/Ar）維護(hù)，或選用抗氧化涂層（如陶瓷鍍層）。
2.電氣匹配：
多加熱棒并聯(lián)運用，防止因電阻差異導(dǎo)致部分過熱。
3.質(zhì)料等級：
精密工藝（如半導(dǎo)體）選用高純等靜壓石墨（灰分<50 ppm）；
一般工業(yè)可用EDM石墨（成本低，加工速度快）。
總結(jié)：
石墨真空爐配件以耐高溫、低脹大、化學(xué)慵懶為中心優(yōu)勢，掩蓋從發(fā)熱、支撐到密封的全流程需求。選型時需歸納溫度、氣氛及工藝精度要求，優(yōu)先考慮高純度與專業(yè)加工服務(wù)（如CNC定制），以確保設(shè)備高效安穩(wěn)作業(yè)。
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