真空熱處理爐的特點有嚴厲的真空密封，大部分加熱與隔熱資料只能在真空狀態下運用，水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業，選用低電壓大電流，自動化程度高。
(1)嚴厲的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，獲得和保持爐子原定的漏氣率，確保真空爐的作業真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就是要有可靠的真空密封結構。為了確保真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結構設計中有必要道循一個基本原則，就是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許避免選用動密封結構，以盡量減少真空泄漏的機會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都有必要設計密封結構。
(2)大部分加熱與隔熱資料只能在真空狀態下運用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這些資料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求。對立氧化功能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些資料在大氣狀態下極易氧化，因而，常規熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱資料。
(3)水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為晦氣的條件下作業，有必要確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該根據不同的情況設置水冷設備，以確保真空熱處理爐能夠正常運行并有滿足的運用壽命。
(4)選用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴峻的會產生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和丟失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超越80一100伏。一起在電熱元件結構設計時要采取有用措施，如盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以避免輝光放電或許弧光放電的產生。
(5)自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個乃至幾十個動作來完結。這些動作內涵真空熱處理爐內進行，操作人員無法挨近。一起，有些動作如加熱保溫完畢后，金屬工件進行淬火工序須六、六個動作并且要在15秒鐘以內完結。在這樣迅速的條件來完結許多動作，是很簡單形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，只要較高的目動化才干準確、及時按程序協調集。